Повернутися до подробиць статті АНАЛІЗ ОСНОВНИХ ЗАКОНОМІРНОСТЕЙ ЗМІНИ ВЛАСТИВОСТЕЙ ВАКУУМНИХ ІОННО-ПЛАЗМОВИХ ПОКРИТТІВ ЕЛЕМЕНТІВ КОНСТРУКЦІЙ ВІД ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПАРАМЕТРІВ ЇХ ФОРМУВАННЯ Завантажити Завантажити PDF